中国6N级高纯氟化氢量产突破

据IT之家、滨州发布及大众日报7月23日消息，7月19日，滨化集团举行电子级高纯氟化氢气体投产暨新产品发布会，宣布其旗下大晟芯材成功实现6N级高纯氟化氢规模化量产，产品关键指标达国际一流水准，一举填补山东省高纯氟化氢产能空白。高纯氟化氢被誉为半导体产业的“化学雕刻刀”，是芯片蚀刻、清洗环节不可或缺的核心原料。6N级（99.9999%）高纯氟化氢是适配28纳米及以下先进制程的必需品，长期以来核心技术被海外企业（如日本Stella Chemifa、韩国Soulbrain等）垄断，国内高端氟化氢主要依赖进口，国产化率极低。此次量产意味着中国在半导体关键材料领域取得重大突破，不仅为国内先进制程芯片制造提供了自主可控的供应链保障，还有望降低对海外供应商的依赖，提升国内半导体产业的安全性和竞争力。滨化集团表示，该产品将首先供应国内主流晶圆厂，并逐步向更先进制程拓展。当前全球半导体材料市场约600亿美元，其中高纯氟化氢占比约5%，全球市场约30亿美元，而中国市场需求约占全球30%，且随着国内晶圆厂扩产，需求将持续增长。此次突破有望带动国内相关产业链进一步完善，并推动国产替代进程加速。