北
北方华创 002371国内半导体设备平台型龙头,刻蚀、薄膜等核心工艺受益于研发效率提升带来的国产替代机会
中
中微公司 688012等离子体刻蚀及MOCVD设备领先,技术路线与泛林直接竞争,实验室扩建加速差距缩小
盛
盛美上海 688082清洗设备龙头,全球半导体研发投入增加有利于其先进制程设备验证与导入
沪
沪硅产业 688126大硅片材料龙头,泛林实验室扩建推动材料创新,国产硅片认证与导入有望加速
雅
雅克科技 002409半导体前驱体及光刻胶材料供应商,受益于上游材料研发强度提升和国产替代需求